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潔凈室(區(qū))空氣潔凈度級別表
潔凈室(區(qū))空氣潔凈度級別表
潔凈度級別
塵粒*大允許數(shù)/立方米
(靜態(tài))
微生物*大允許數(shù)
(靜態(tài))
換氣次數(shù)
≥0.5μm
≥5μm
浮游菌/立方米
沉降菌/Ф90皿0.5h
100級
3500
0
5
0.5
附注2
10000級
350000
2000
50
1.5
≥20次/時
100000級
3500000
20000
150
3
≥15次/時
300000級
10500000
60000
200
5
≥10次/時
注:
(1)塵埃粒子數(shù)/立方米,要求對≥0.5μm和≥5μm的塵粒均測定,浮游菌/立方米和沉降菌/皿,可任測一種。
(2)100級潔凈室(區(qū))0.8米高的工作區(qū)的截面*低風(fēng)速:垂直單向流0.25米/秒;水平單向流0.35米/秒。
(3)潔凈室的測定參照J(rèn)GJ 71-90《潔凈室施工及驗收規(guī)范》執(zhí)行。 (4)對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計算應(yīng)進(jìn)行多次采樣。當(dāng)其多次出現(xiàn)時,方可認(rèn)為該測試數(shù)值是可靠的。
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